grijanje mocvd reaktora s indukcijom
Indukcijsko grijanje Reaktori metalorganskog kemijskog taloženja parom (MOCVD) tehnologija je usmjerena na poboljšanje učinkovitosti grijanja i smanjenje štetnog magnetskog spajanja s ulazom plina. Konvencionalni MOCVD reaktori s indukcijskim grijanjem često imaju indukcijsku zavojnicu smještenu izvan komore, što može rezultirati manje učinkovitim zagrijavanjem i potencijalnom magnetskom interferencijom sa sustavom za isporuku plina. Nedavno… Čitaj više